7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)
7．1 一般規(guī)定
7．1．3 潔凈廠房中凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則，本條推薦6種情況宜采用“分開設(shè)置”。研究分析凈化空調(diào)系統(tǒng)“分開設(shè)置”的依據(jù)，大體可歸納為：電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)或要求，方便運(yùn)行管理，減少能量消耗，防止交叉污染和由此帶來的影響產(chǎn)品質(zhì)量或工作人員健康或影響運(yùn)行安全等多項(xiàng)因素。本條中的第1、3、4款，主要是為方便運(yùn)行管理、減少能量消耗作出的規(guī)定。第2款是為防止交叉污染，確保電子產(chǎn)品質(zhì)量和保護(hù)工作人員健康以及安全運(yùn)行作出的規(guī)定。第5款是為了方便運(yùn)行管理、減少設(shè)備投資和方便安裝調(diào)試等作出的規(guī)定。第6款是為了方便運(yùn)行管理、減少風(fēng)管尺寸等因素作出的規(guī)定。
7．1．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073—2001中第6．1．5條的規(guī)定。
7．1．6、7．1．7 潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須保持一定的靜壓差，這是為了確保潔凈室(區(qū))的正常工作狀態(tài)或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí)，空氣流只能從空氣潔凈度等級高的房間或區(qū)域流向空氣潔凈度等級低的房間或區(qū)域，使?jié)崈羰?區(qū))內(nèi)的空氣潔凈度不會受到污染空氣的干擾。
由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝各不相同，因此各類潔凈室(區(qū))所要求的空氣潔凈度不同；各個房間或區(qū)域散發(fā)的污染物種類、發(fā)塵量不同，所以各類潔凈室(區(qū))之間的靜壓差只能隨產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。
靜壓差值的大小應(yīng)選擇適當(dāng)。若壓差值選擇過小，潔凈室的壓差很容易被破壞，潔凈室(區(qū))的潔凈度就會受到影響。若壓差值選擇過大，就會使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量增大，空調(diào)負(fù)荷增加，同時(shí)使中效、高效過濾器使用壽命縮短，故很不經(jīng)濟(jì)。另外，當(dāng)室內(nèi)靜壓差值高于50Pa時(shí)，門的開關(guān)就會受到影響。
國際上現(xiàn)行的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)中都明確地規(guī)定，為了保持潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級免受外界的干擾，對于不同等級的潔凈室之間、潔凈室與相鄰的無潔凈度級別的房間之間都必須維持一定的靜壓差。雖然各個國家規(guī)定的最小壓差值不盡相同，但最小壓差值都在5Pa以上。
試驗(yàn)研究的結(jié)果表明，潔凈室內(nèi)正壓值受室外風(fēng)速的影響，室內(nèi)正壓值要高于室外風(fēng)速產(chǎn)生的風(fēng)壓力。當(dāng)室外風(fēng)速大于3m／s時(shí)，產(chǎn)生的風(fēng)壓力接近5Pa；若潔凈室內(nèi)正壓值等于或小于5Pa時(shí)，室外的污染空氣就有可能滲漏到室內(nèi)。因此，潔凈室與室外相鄰時(shí)其最小的靜壓差值應(yīng)該大于5Pa，所以規(guī)定潔凈室與室外的最小壓差為10Pa。
7．1．8 潔凈室(區(qū))的送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073—2001中第6．2 4條的規(guī)定。
7．2 氣流流型和送風(fēng)量
7．2．1 氣流流型的確定應(yīng)充分考慮的因素有：滿足空氣潔凈度等級要求、一次建設(shè)投資、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、空氣過濾器等更換方便等。
本條推薦的潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流流型的設(shè)計(jì)要求，是基于數(shù)十年電子工廠潔凈廠房工作實(shí)踐的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，并結(jié)合國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO／TC 209技術(shù)委員會已經(jīng)頒布、實(shí)施的《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)》IS0 14644—1、IS0 14644-4中有關(guān)氣流流型的要求和近年來國內(nèi)建成投產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房所采用的氣流流型的實(shí)際狀況制定的。圖4是IS0 14644-4中對潔凈室氣流流型的圖示。表19是一些電子工業(yè)潔凈廠房的氣流流型。上述情況表明：空氣潔凈度等級為1～5級時(shí)，基本上采用單向流或混合流，空氣潔凈度等級為6～9級時(shí)，基本上采用非單向流，且混合流流型可應(yīng)用于所有各種空氣潔凈度等級的潔凈室。
7．2．2 潔凈室的送風(fēng)量是保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073—2001中第6．3．2的規(guī)定。
7．2．3 制定本條的依據(jù)是：
1 表20是根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO／TC 209技術(shù)委員會編寫、發(fā)布的《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)》ISO 14644—4《潔凈室的設(shè)計(jì)、建造和試運(yùn)行》中的表B．2微電子潔凈室的實(shí)例，列出了空氣潔凈度等級為2～8級的氣流流型、潔凈送風(fēng)量的數(shù)據(jù)。
注：在制定最佳設(shè)計(jì)條件前，應(yīng)該詳細(xì)規(guī)定并商定與ISO等級有關(guān)的占用狀況。
表列的氣流形式表示該等級潔凈室的氣流特性U為單向流，N為非單向流，M為混合氣流(U和N組合)。平均氣流速度是通常規(guī)定潔凈室內(nèi)單向流的方法。對單向流速度的要求取決于局部的參數(shù)，如幾何圖形和熱參數(shù)。不一定是過濾器的面速度。每小時(shí)換氣次數(shù)是規(guī)定非單向流和混合氣流的方法。建議的換氣次數(shù)是指3.0m的室高度。應(yīng)考慮不透水的屏障技術(shù)。污染源和待保護(hù)的區(qū)域要有效地分隔開，可以用物理或氣流屏障。
2 近年來，一些8″、12″集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房中主要生產(chǎn)設(shè)備配置微環(huán)境裝置時(shí)，潔凈室采用Ballroom＋微環(huán)境時(shí)，其潔凈廠房內(nèi)潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級為5級或6級，氣流流型為非單向流，潔凈生產(chǎn)區(qū)送風(fēng)一般選用FFU，吊頂上FFU的滿布率為25％左右；微環(huán)境內(nèi)的空氣潔凈度等級為2～4級。
3 單向流潔凈室的平均風(fēng)速下限值，在自動化、機(jī)械化程度很高的潔凈室(區(qū))內(nèi)基本無人的情況下，有的潔凈室(區(qū))僅采用0．11m／s。
7．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)
7．3．1 電子工業(yè)潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)的主要形式為集中式和分散式，圖5是幾種分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)的典型圖示。從圖中可見，各種形式各具特點(diǎn)和適用性，在實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的潔凈室規(guī)模、空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及其要求確定，同時(shí)考慮運(yùn)行經(jīng)濟(jì)和降低能量消耗。
7．3．2 電子工業(yè)潔凈廠房，尤其在規(guī)模較大的集成電路芯片生產(chǎn)和TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的送風(fēng)方式有集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)和風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組送風(fēng)等類型，各種送風(fēng)方式各具特點(diǎn)和適用性，圖6是各種送風(fēng)方式的示意圖。圖6中：(a)集中送風(fēng)系統(tǒng)(CentralSystem)，室外新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)處理裝置(MAU)后，與經(jīng)表冷器降溫和風(fēng)機(jī)增壓后的回風(fēng)混合，通過高效過濾器送至潔凈生產(chǎn)層。(b)隧道送風(fēng)系統(tǒng)(Tunnel System)，潔凈區(qū)的回風(fēng)經(jīng)維修區(qū)與新風(fēng)處理(MAU)后的新風(fēng)混合后，由循環(huán)空氣處理裝置送入送風(fēng)靜壓箱，通過空氣過濾器送入潔凈區(qū)。(c)FFU系統(tǒng)，潔凈區(qū)回風(fēng)經(jīng)表冷器降溫后與處理后新風(fēng)混合，通過FFU增壓、過濾送入潔凈區(qū)。三個系統(tǒng)各有利弊，其選擇主要與電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、能量消耗、建設(shè)投資等有關(guān)，有時(shí)也與業(yè)主的意愿有關(guān)，但近年來在集成電路潔凈廠房中，采用FFU系統(tǒng)者日益增多。
7．3．3 在一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，需使用各種不同的可燃、有毒氣體或化學(xué)品，使用這些物質(zhì)的生產(chǎn)設(shè)備或儲存、分配設(shè)施都將設(shè)置必要的排風(fēng)裝置，為此，在這類電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新鮮空氣吸入口，必須遠(yuǎn)離上述排氣口，以確保潔凈室(區(qū))的安全運(yùn)行和工作人員身體健康。
美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA318((潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》的第3．1．1條規(guī)定，潔凈室的室外空氣吸入口的位置必須避免吸入本建筑或裝置產(chǎn)生的可燃?xì)怏w或有毒化學(xué)品。
7．3．4 近年在電子工業(yè)潔凈廠房中，當(dāng)設(shè)有多套凈化空調(diào)系統(tǒng)或潔凈廠房規(guī)模較大時(shí)，常常采用新風(fēng)集中處理的方式，采用這種方式的特點(diǎn)或優(yōu)越性主要有：
1 將送入潔凈室的空氣凈化與熱濕處理分離，有利于降低能源消耗；
2 有利于消除冷熱抵消；
3 有利于強(qiáng)化對室外新風(fēng)的處理，在微電子、光電子用潔凈室的送風(fēng)中，不僅要求控制微粒、溫度、相對濕度等，還要求去除影響產(chǎn)品質(zhì)量或降低成品率的分子態(tài)化學(xué)污染物，如Na、SOx、NOx、Cl、B等，這些污染物主要來自室外大氣中。為此，對于此類潔凈廠房需對室外吸入新鮮空氣進(jìn)行嚴(yán)格處理，常?？梢圆捎昧芩ㄈコ髿庵械腟Ox、NOx和Cl；采用化學(xué)過濾器和活性炭過濾器，利用物理吸附和化學(xué)吸附的原理，將低濃度的分子態(tài)化學(xué)污染物去除到規(guī)定的濃度要求。圖7是某微電子工業(yè)潔凈廠房的新風(fēng)處理裝置示意圖，采用了11個功能段——兩級加熱、兩級表冷、兩級淋水、四級過濾和一級加濕。
7．3．5 潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，若能在滿足工作人員必須的新鮮空氣量的前提下將潔凈室的回風(fēng)基本得到合理利用，是最佳的運(yùn)行方式，這樣可以大大降低新風(fēng)處理所需加熱、冷卻用能量和輸送用能量，是潔凈室設(shè)計(jì)中最佳節(jié)能措施。所以本條規(guī)定除了三種情況不得回風(fēng)外，其余均應(yīng)合理利用回風(fēng)。
7．4 空氣凈化設(shè)備
7．4．1 電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的核心設(shè)備之一的空氣過濾器的正確選用和合理布置，是至關(guān)重要的。首先，應(yīng)遵循我國的相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)合理選用空氣過濾器，包括空氣過濾器的處理風(fēng)量、效率、阻力、材質(zhì)和檢測方法(含檢漏方法)等。其次，根據(jù)具體工程項(xiàng)目的產(chǎn)品生產(chǎn)要求和凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，合理安排各類空氣過濾器的位置，在空調(diào)箱中，中效(高中效)空氣過濾器常安裝在正壓段，但近年來為了保持表冷器表面清潔，減少塵粒沉積，已有許多設(shè)計(jì)中在風(fēng)機(jī)前安裝中效空氣過濾器，圖7便是一例。鑒于目前我國的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中還沒有去除化學(xué)污染物的空氣過濾器或其他去除裝置的標(biāo)準(zhǔn)，只能參照相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行選用和布置。
7．4．2 風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組(FFU)是將風(fēng)機(jī)與高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)組合在一起，構(gòu)成自身可提供推動力的末端空氣凈化裝置。它由風(fēng)機(jī)、過濾器、機(jī)殼和電器控制等部分組成。FFU的主要技術(shù)性能包括風(fēng)量(一般以斷面風(fēng)速表示)、余壓、能耗、效率、噪聲和控制方式等。目前國內(nèi)電子工業(yè)潔凈室應(yīng)用FFU越來越多，不僅在大面積、空氣潔凈度要求嚴(yán)格的單向流或混合流潔凈室(區(qū))采用，而且在各種用途的、面積不是很大的單向流或混合流潔凈室(區(qū))中也有應(yīng)用。目前在應(yīng)用中受到各方面關(guān)注的主要是FFU裝置的經(jīng)濟(jì)性(投資、運(yùn)行費(fèi))、風(fēng)量和余壓、噪聲、能耗等性能參數(shù)，表21是對國內(nèi)市場的幾個制造廠家生產(chǎn)的FFU裝置的實(shí)測性能參數(shù)。
從表21中數(shù)據(jù)可見，4種同樣風(fēng)速、風(fēng)量下的FFU裝置，余壓、能耗相差較大；單臺噪聲均在60dB(A)以下，但是數(shù)十臺、數(shù)百臺甚至上千臺FFU裝置安裝后的疊加噪聲將是不同的。據(jù)初步估算，為了達(dá)到本規(guī)范規(guī)定的單向流、混合流潔凈室噪聲不超過65dB(A)(空態(tài))的要求，F(xiàn)FU在斷面風(fēng)速為0．45m／s的條件下，其余壓大于100Pa時(shí)，單臺FFU裝置的噪聲應(yīng)為50dB(A)左右。
基于上述情況，本條對電子工業(yè)潔凈廠房中FFU裝置的設(shè)置，提出了5款基本要求。
7．4．5 干表冷器是以中溫水為冷媒的空氣換熱設(shè)備，其功能只要求空氣降溫，不需去濕，即無凝結(jié)水析出。在與FFU聯(lián)合使用時(shí)，干表冷器設(shè)置在FFU回風(fēng)的通道上，其冷媒的進(jìn)水溫度應(yīng)計(jì)算確定；通過的風(fēng)速不宜過高，一般應(yīng)小于2m／s，干表冷器的風(fēng)阻力不應(yīng)太大，應(yīng)在30～40Pa左右。在正常運(yùn)行時(shí)雖無凝結(jié)水析出，但是為了安全，最好還應(yīng)設(shè)置滴水盤或其他排水措施。
7．4．6 空氣處理機(jī)組是電子工業(yè)潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的關(guān)鍵設(shè)備，它與舒適性空調(diào)系統(tǒng)中的空氣處理機(jī)組相比，首先應(yīng)做到氣密性好，既應(yīng)減少系統(tǒng)中的空氣往外泄漏，使能量消耗增加，又要防止“機(jī)組”周圍相對臟的空氣滲入“機(jī)組”，增大各級過濾器的負(fù)荷，所以本條規(guī)定機(jī)組的漏風(fēng)率不得大于1％。第二，為了做到空氣處理機(jī)組在運(yùn)行維護(hù)中，不易滲漏、散發(fā)微粒和便于擦拭、清潔，不僅整體結(jié)構(gòu)應(yīng)耐壓具有足夠強(qiáng)度和剛度，而且內(nèi)表面應(yīng)乎整、光滑，并應(yīng)具有較好的保溫和防冷橋的性能。第三，潔凈室設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)表明，潔凈廠房能量消耗大，其中凈化空調(diào)系統(tǒng)及其冷熱源設(shè)備又是能量消耗大戶。送風(fēng)量大是能量消耗大的主要源頭，降低送風(fēng)量有多項(xiàng)技術(shù)措施，在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)確定送風(fēng)量的情況下，隨著電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中生產(chǎn)工藝設(shè)備開啟數(shù)量和負(fù)荷率的變化，室內(nèi)外溫濕度的變化等因素的變化，都可能需要調(diào)節(jié)送風(fēng)量，另外，凈化空調(diào)系統(tǒng)中的初、中、高效過濾器的阻力是不斷變化的，為此送風(fēng)機(jī)采取變頻變速措施，可調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)數(shù)，調(diào)節(jié)送風(fēng)量，減少電能消耗，是潔凈廠房的重要節(jié)能措施之一。但是送風(fēng)機(jī)的變頻變速措施的設(shè)置，一定要結(jié)合具體工程項(xiàng)目的實(shí)際情況，合理進(jìn)行選擇。
7．5 采暖、通風(fēng)
7．5．1 為使?jié)崈羰?區(qū))內(nèi)嚴(yán)格做到不產(chǎn)生或少產(chǎn)生塵粒、不滯留或少滯留塵粒，若潔凈室(1X)需設(shè)置采暖設(shè)施時(shí)，不應(yīng)采用散熱器采暖。據(jù)調(diào)查了解，目前電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室(區(qū))內(nèi)大多不采用散熱器采暖，為此本條作了嚴(yán)格規(guī)定，并為強(qiáng)制性條文。
7．5．2 為確保局部排風(fēng)系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定運(yùn)行，電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨(dú)設(shè)置的要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073—2001中第6．5．3條規(guī)定。
7．5．3 一些電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)使用各類品種、一定數(shù)量的可燃、易爆和有毒物質(zhì)，其中以集成電路芯片制造工廠為最多，為確保電子產(chǎn)品生產(chǎn)的安全、可靠運(yùn)行，通常在使用這些物質(zhì)的生產(chǎn)設(shè)備均設(shè)有局部排風(fēng)系統(tǒng)。在芯片制造用潔凈廠房中的可燃、有毒或有害物質(zhì)主要有：酸堿類：HF、HCl、H2SO4、HN03、NH3等；有機(jī)類：IPA(異丙醇)、CHCl3、NBA、HMDS、丙酮等；特種氣體：AsH3、SiH4、PH3、B2H6、HCl、NF3、WF6、SiHCl3、CF4、SF6、N20等。這些物質(zhì)大部分對人類生存環(huán)境具有巨大的危害性，為此，電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中必須采取必要的技術(shù)措施，將危害性減少到最小；同時(shí)，還應(yīng)采取技術(shù)措施，防止這些物質(zhì)的排氣系統(tǒng)對所在廠房的安全、衛(wèi)生造成威脅或危害。本條的各項(xiàng)要求以此為出發(fā)點(diǎn)作出相應(yīng)的規(guī)定?，F(xiàn)對一些規(guī)定說明如下：
1 排氣系統(tǒng)中，含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)時(shí)，若不能排除系統(tǒng)中的凝結(jié)液，將使排氣系統(tǒng)不能正常運(yùn)行或造成安全事故或影響潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度，為此本條規(guī)定：此類排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)坡度及排放口，以便及時(shí)排出凝結(jié)物質(zhì)。
2 排氣介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，該排風(fēng)系統(tǒng)在運(yùn)行過程中是不能停止運(yùn)轉(zhuǎn)的，一旦停機(jī)，將對潔凈室工作人員和潔凈廠房周圍環(huán)境帶來致命的或巨大的危害，為此本條規(guī)定：此類排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備應(yīng)設(shè)備用，并設(shè)置應(yīng)急電源。
排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，為確保安全運(yùn)行，排風(fēng)系統(tǒng)也不能停止運(yùn)轉(zhuǎn)，為此本條規(guī)定：此類系統(tǒng)的排風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)備用，并應(yīng)設(shè)應(yīng)急電源。
3 現(xiàn)將美國消防協(xié)會(NFPA)的NFPA 318《潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》中的相關(guān)條文摘錄如下，供參考：第3．5．1條，排風(fēng)系統(tǒng)必須設(shè)有自動應(yīng)急電源。第3．5．2條，應(yīng)急電源工作時(shí)，必須達(dá)到不低于排氣系統(tǒng)50％的容量。第8 8節(jié)，使用可燃或易燃化學(xué)品的設(shè)備，必須具有可燃或易燃?xì)怏w或蒸氣濃度降低至爆炸下限20％以下的排氣系統(tǒng)。
7．5．4 為了避免含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路向沿程或路由區(qū)域泄漏，形成安全事故的發(fā)生，本條規(guī)定：此類排氣管路內(nèi)壓力應(yīng)低于路由區(qū)域內(nèi)的壓力，即保持一定的負(fù)壓值。
美國消防協(xié)會的NFPA 318《潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》中第3．2．3條規(guī)定：含有有毒化學(xué)物質(zhì)的排氣系統(tǒng)壓力，必須低于通過建筑區(qū)域的正常壓力。
7．5．6 制定本條的主要依據(jù)有：
1 按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019—2003中第5．4．3條制定本條第1款規(guī)定。
2 根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019—2003中第5．4．6條規(guī)定本條第2款明確規(guī)定在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外設(shè)手動控制開關(guān)；為運(yùn)行安全和管理要求，并規(guī)定應(yīng)設(shè)自動控制開關(guān)。
3 參照美國消防標(biāo)準(zhǔn)NFPA 318《潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》中第3．5．1條“排氣通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源”。為確保事故排風(fēng)系統(tǒng)及時(shí)投入運(yùn)行，不會因停電無法運(yùn)行而誘發(fā)事故的發(fā)生，制定本條第3款的規(guī)定。
7．6 排 煙
7．6．1 電子工業(yè)潔凈廠房中，不論在上技術(shù)夾層或下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道中各種管線均較多，如果再安排機(jī)械排煙管道較困難，為了確保潔凈廠房安全和一旦出現(xiàn)火情后，有能力及時(shí)疏散生產(chǎn)廠房中的工作人員，所以本條規(guī)定潔凈廠房的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。本條是強(qiáng)制性條文，所有電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)、建造時(shí)均應(yīng)認(rèn)真執(zhí)行。
這里需要說明的是：本條的規(guī)定并不是說所有電子工業(yè)潔凈廠房都僅僅在疏散走廊設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施，如果一個具體工程項(xiàng)目，在潔凈廠房的技術(shù)夾層等的管線布置安排中確有可能布置機(jī)械排煙管道，并且工程項(xiàng)目的業(yè)主希望潔凈廠房設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施時(shí)，工程設(shè)計(jì)單位應(yīng)密切配合，妥善進(jìn)行各種管線的安排，做好機(jī)械排煙系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。
7．6．2 本條規(guī)定了電子工業(yè)潔凈廠房應(yīng)按照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的要求設(shè)置排煙設(shè)施。但由于以集成電路、光電器件生產(chǎn)為代表的高新科技潔凈室(區(qū))具有大體量、大面積、人員密度小以及廠房構(gòu)造、關(guān)鍵工藝生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有安全設(shè)施等特點(diǎn)，且此類潔凈廠房內(nèi)各種公用動力、凈化空調(diào)、高純物質(zhì)供應(yīng)設(shè)施、管線較多，布置復(fù)雜，使機(jī)械排煙管線的布置比較困難，為此本條又規(guī)定：“當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室(區(qū))內(nèi)人員密度小于0．02人／m2，且安全疏散距離小于80m時(shí)，潔凈室(區(qū))可不設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施?！?
7．6．3 機(jī)械排煙系統(tǒng)設(shè)計(jì)(風(fēng)量、排煙口位置、風(fēng)機(jī)等的選擇)應(yīng)滿足現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016—2001中第9．4．4條等的有關(guān)規(guī)定。
7．7 風(fēng)管、附件
7．7．2 鑒于含有易燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道在出現(xiàn)火情后，為確保人員的安全疏散，應(yīng)首先將系統(tǒng)、設(shè)備和管道中的有害氣體排出，達(dá)到安全規(guī)定后，才能關(guān)斷，所以本條規(guī)定“不得設(shè)置熔片式防火閥”。
7．7．3 電子工業(yè)潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥、高效空氣過濾器的保護(hù)網(wǎng)、孔板等附件的制作材料和涂料的選擇，不僅應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，還應(yīng)充分考慮這些材料的應(yīng)用，是否會釋放對電子產(chǎn)品有影響的物質(zhì)，比如集成電路芯片生產(chǎn)中，如果凈化空氣中含有Na、B等物質(zhì)時(shí)，將會使產(chǎn)品質(zhì)量降低或成品率降低，嚴(yán)重時(shí)不能制造出所需要的成品，為此本條規(guī)定“不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料”。
7．7．4 由于潔凈室(區(qū))內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)有多種類型，各個排風(fēng)系統(tǒng)含有各類化學(xué)物質(zhì)，因此選用排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、閥門、附件的制作材料和涂料時(shí)，應(yīng)認(rèn)真分析、對比所選材質(zhì)與所在排風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)物質(zhì)的物化性質(zhì)及其所處的環(huán)境參數(shù)，以不得發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和引起安全事故為前提選用合適的材質(zhì)。
7．7．7 制定本條的主要依據(jù)是：
1 根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019—2003中第5．8．10條和第7．9．3條第4款的規(guī)定。
2 美國消防標(biāo)準(zhǔn)NFPA 318《潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》中第3 3．5條規(guī)定：“排風(fēng)管道應(yīng)采用不燃材料制造”。
鑒于上述規(guī)定和電子工業(yè)潔凈廠房的特點(diǎn)，作了本條規(guī)定，且第2款、第3款為強(qiáng)制性條文。
