6．1 一般規(guī)定
6．1．1 通過多年的使用，實踐證明使用壓力范圍為1MPa以下的壓力管道系統(tǒng)，能夠滿足潔凈室工藝要求。
6．2 管材及附件
6．2．1 除了純度與干燥度的控制外，潔凈室的潔凈度級別，是我們控制管道系統(tǒng)輸送氣體污染物粒子量級的重要依據(jù)。氣體管道系統(tǒng)供氣質(zhì)量符合潔凈室的等級要求，就能夠滿足工藝氣體潔凈度對粒子污染物的控制要求。
關(guān)于管材選配原則，是這樣考慮的：
1 管材的透氣性要小。
1)對于不同材質(zhì)的管道，其透氣性能不同，如果管材本身透氣性較大，而安裝中不恰當?shù)刈髁诉x用，那么，無論采取任何處理手段去除污染，都將無濟于事。管材透氣性見表1。
防止大氣中氧的滲透和腐蝕，不銹鋼管和銅管最佳。對700mm長管路中水分的測定，見表2。
2)氣體中的水分主要來自管路系統(tǒng)，而管路系統(tǒng)中的水分，在很大程度上受周邊環(huán)境濕度的影響，滲透對管路內(nèi)的氣質(zhì)有很大破壞力。普通銅管內(nèi)表面對雜質(zhì)，尤其對水分的活性很高，因此，當使用這類管材時，切忌用溶劑或化學藥品清洗，而應當用純凈氣體吹掃。
3)由于管道安裝的環(huán)境可能在室外，即使在室內(nèi)，環(huán)境空氣也有一定的濕度，對銅管也有一定的影響，所以，使用銅管時，對銅管的吹掃時間應當延長，一般為不銹鋼管的8～20倍，否則難以達到應有的效果。
4)不銹鋼管材的活性比銅管差，所以對要求較高的高純、潔凈氣體來說，不銹鋼管是一種較為理想的管材，對于在1～5級潔凈室內(nèi)，采用316L不銹鋼管(對應國產(chǎn)品牌00Cr17Ni14Mo2)。
5)對于6～9級管路系統(tǒng)，視要求的高低可以采用316或者304不銹鋼管(對應國產(chǎn)品牌分別為0Cr17Ni12Mo2、0Cr18Ni9)。
6)對氧氣管路系統(tǒng)應根據(jù)使用條件和周邊狀況，可采用銅管。壓縮空氣管道，干燥度在-20℃與-40℃時，采用不銹鋼管304(0Cr18Ni9)。
2 管材內(nèi)表面吸附、解吸氣體的作用要小。
在不銹鋼熔煉制材過程中，每噸可吸收大約200g的氣體。
所以，不銹鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體。這樣，當管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中，污染純凈氣體。尤其當管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動時，這類材料的作用好比吸附劑，通過氣流時，管材對所通過的氣體形成壓力下吸附，氣流停止通過時，管材所吸附的氣體又形成降壓解析，而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進入管內(nèi)純凈氣體中。同時，吸附、解析周而復始，使得管材內(nèi)表面金屬也會產(chǎn)生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。
3 保持管材內(nèi)表面光滑、耐磨損。
管材的這一特性至關(guān)重要，為了確保輸送的氣體的純凈度，不僅要求管材內(nèi)表面有極高的光滑度，而且應當具有很高的耐磨特性。
這樣，既防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，管材本身在氣流的高速沖刷(擊)下，由于磨阻損耗低，也避免了管材的金屬粉末進入氣流中，造成氣體的污染。不銹鋼管和銅管的不同見表3。
2)為提高內(nèi)表面的相對粗糙度，要在管材生產(chǎn)工藝中加以解決，如特殊拉拔(光亮退火)、內(nèi)面電拋光等，比起在施工過程中加以處理要有效和可靠，因此要使用成品專用管，一般不能在現(xiàn)場加工、處理使用。
4 具有良好的抗腐蝕性能。
在生產(chǎn)工藝中，使用腐蝕性較強的氣體時，必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴重時會出現(xiàn)大片金屬銹班剝離甚至導致管道穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。這種場合不得使用普通無縫鋼管或鍍鋅焊接鋼管。
5 在焊接處理時管材組織不發(fā)生變化。
大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，因此要求采用的管材在施焊時組織不發(fā)生變化。如果選用鋼管，則低碳鋼管材(316L)較為適宜，否則，含碳過高的材料在焊接時，受焊接熱影響的部位可析出炭來，從而產(chǎn)生局部腐蝕應力，造成焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致各項努力全部失去意義。
6．2．2 潔凈室內(nèi)的管材有具使用的特殊性，從進貨、驗證、保存、下料、焊接、裝配、試壓、吹除、運行等工序都有著嚴格的要求。所有這些內(nèi)容與程序，都是管道系統(tǒng)質(zhì)量的技術(shù)保障措施，因此，條文規(guī)定比較詳細，以下幾點應特別注意：
1 潔凈管材十分珍貴，進貨不能像普通管材那樣隨意碼放，不僅要保持外觀的清潔、包裝紙完好，更要防止磕碰，更重要的是保持內(nèi)表面的粗糙度與光滑不受破壞。
2 管端頭的密封罩蓋，甚至管外壁的包裝紙都應完好無損，否則便成為施工單位的保管失職。
3 由于特殊拉拔工藝生產(chǎn)的內(nèi)表面“光亮退火B(yǎng)A”管材及內(nèi)面“電研磨拋光的EP”管材，加工工藝復雜，價格昂貴。市場“內(nèi)壁光滑潔凈管”效果良莠不齊，不僅與國外的水平差距較大，國內(nèi)各廠家的產(chǎn)品效果也相差甚遠，必須進行相應的粗糙度的檢測，驗證其可靠性與真實性，確保施工起點高，從源頭消除隱患，確保潔凈室內(nèi)相應級別的管道施工質(zhì)量。因此，隨機抽檢內(nèi)表面的粗糙度是否與設(shè)計相符、是否與出廠參數(shù)相符，是潔凈管道施工的一項重要的程序。
系統(tǒng)內(nèi)表面加以處理，對減少管材自身可能造成的污染十分有效，目前，研磨、電拋光是管材內(nèi)表面處理的最佳方式，如果在機械加工后經(jīng)電拋光，則管路系統(tǒng)內(nèi)表面的粗糙度會得到較大的改善(見表5)，為確保輸送氣體的質(zhì)量經(jīng)過管道輸送不發(fā)生變化增大了可靠性。
6．2．5 管路附件材質(zhì)最低應與主管材質(zhì)一致，在采用銅材的管路系統(tǒng)中，可以采用不銹鋼材質(zhì)的管路附件，而在采用不銹鋼材質(zhì)的管路系統(tǒng)中，不得采用低于主管材的銅材質(zhì)的管路附件。而且，凡是與應用氣體接觸的管路系統(tǒng)，均不得含有塑料制件。
不銹鋼管的耐磨性能優(yōu)于銅管，在氣流沖刷下產(chǎn)生的金屬粉塵相對也少，對潔凈度要求高的場合使用不銹鋼管316L、316、304，不得采用銅管材。
銅管內(nèi)表而對雜質(zhì)，尤其對水分的活性很高，因此，當使用這類管材時，切忌用溶劑或化學藥品清洗，而應當用純凈氣體吹掃，清洗也比不銹鋼材難度大。
而且在微電子生產(chǎn)中，個別生產(chǎn)工藝，如砷化鎵的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅質(zhì)管路及其附件。
由于管道安裝的環(huán)境空氣也有一定的濕度，對銅管也有一定的影響，所以，使用銅管時，對銅管的吹掃時間應當延長，一般為不銹鋼管的8～20倍。
6．3 管道系統(tǒng)安裝
6．3．1 管道系統(tǒng)的安裝應做以下準備工作：
1 不銹鋼管的切割應采用“等離子”或?qū)Ｓ们懈罟ぞ呒此^“磨切”切割。
“等離子”切割利用離子弧高溫，使得被切的金屬熔化，同時，利用壓縮氣體高速氣流將熔渣吹掉而切割管材，此方法可以切割任何金屬與非金屬的管材，并具有切割速度快、質(zhì)量好、熱影響小、變形小的優(yōu)點。
“磨切”切口光滑、平整、速度快，“磨切”一般采用砂輪切割機進行，可以切割碳素鋼管、合金管材，但對不銹鋼管材應使用專門的切割片，批量的管材通常采用鋸床切割。
氧乙炔焰切割通常也稱之為氣割，氣割對切口的力學性能有影響，因此對不銹鋼管材、有色管材是禁止使用的。
4 不銹鋼管酸洗液配方見表6。
5 氧氣管道、包括閥門、管件、儀表、墊片及其他附件都必須脫脂。
氧氣管道和設(shè)備常用的脫脂劑為四氯化碳、二氯乙烷、三氯乙烯、煤油等。前二者均具有毒性，但因二氯乙烷、三氯乙烯還有燃燒與爆炸的危險，因此，常用溶劑多為四氯化碳。
四氯化碳是脂肪的溶劑，有強力的麻醉作用，而且易被皮膚吸收，對人體有毒害。四氯化碳中毒引起人的頭痛、昏迷、嘔吐等癥狀。
四氯化碳在500℃以下是穩(wěn)定的，在接觸到煙火、溫度在500℃以上時，四氯化碳蒸氣與水蒸氣化合可以生成光氣。
常溫下四氯化碳與硫酸作用也能生成光氣，光氣是A1類劇毒氣體，極其微量也能引起中毒。四氯化碳與堿發(fā)生化學反應，因生成甲烷而失效。
所以脫脂作業(yè)必須做好人員與環(huán)境的保護工作。
6．3．2 經(jīng)過干燥處理的各種氣體或深度冷凍空氣分離(深冷空分)提供的氣體都可以無坡度敷設(shè)，因為氣體露點溫度低于環(huán)境溫度10℃，氣體中的水分就不會析出來，因此，干燥氣體管道實際不需要敷設(shè)坡度。
6．3．6 對于高純度、高潔凈度介質(zhì)的氣體管道，螺紋連接結(jié)構(gòu)本身并不適用，不僅螺紋密封填料殘渣有帶入純凈氣流中的可能性，而且，在內(nèi)、外螺紋旋緊時，金屬之間的摩擦，也會產(chǎn)生金屬粉塵粒子，同樣會污染純凈氣體，所以，不推薦在系統(tǒng)中使用螺紋連接。在無法避免時，應注意密封帶質(zhì)量及其纏繞的方式，纏繞過多超出管螺紋端頭坡口，在內(nèi)外螺紋旋緊時，密封帶被套絲凸牙咬破，超出坡口部分，被螺紋凸牙切下，落入管內(nèi)形成較大的污染物。岡此，密封帶纏繞不宜過厚，以一周半為宜，不僅管頭倒角處不能纏繞，而且還應空出兩到三個凸牙，這種情況可以得到改善。
6．3．7 加色標是為了安全，便于快速鑒別、維修和查找原因。已有因接口可通用而接錯了氣體管道發(fā)生人身傷亡的事情，所以這一點必須強調(diào)。
6．4 管道系統(tǒng)的強度試驗
6．4．1 本節(jié)主要參考有關(guān)壓力管道以及《通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50243等現(xiàn)行國家標準以及潔凈室中壓力管道施工實踐編制。根據(jù)國內(nèi)外資料與實踐證明，管道系統(tǒng)水壓試驗后的水分、污染物很難吹掃干凈，甚至破壞了管道內(nèi)表面的潔凈度與光滑程度。所以高純、高潔凈度的管道系統(tǒng)安裝完畢不應采用水壓試驗，而應采用潔凈的氣體，一般多用高純氮氣進行氣壓試驗。
由于氣壓試驗過程中，對氣源壓力的控制、管材質(zhì)量與人員的操作水平等因素，存在一定的超壓、管材破裂等可能性，而1．0MPa的壓力氣體大面積沖擊人身，輕者致殘，重者喪生，因此強調(diào)做好人員與環(huán)境的安全保護工作。也是限定0．6MPa以上氣壓試驗要有設(shè)計文件與甲方的認可方可實施的原因。
6．4．2 對管路系統(tǒng)泄漏量試驗，配管敷設(shè)工作完成之后，試壓完畢，要用發(fā)泡劑檢漏，如果建設(shè)方要求嚴格，并在事前約定，發(fā)泡劑檢漏后再用氦氣(氦質(zhì)譜儀)檢測泄漏狀況，進行這項工作時，每一個檢查點都要用塑料薄膜覆蓋，并通以小流量氦氣進入覆蓋空間，然后用氦質(zhì)譜儀進行檢測。結(jié)論應當是“零”泄漏，即無泄漏才為合格。
6．4．5 真空管道在強度試驗與嚴密性試驗合格后，系統(tǒng)聯(lián)動運轉(zhuǎn)前，還應以設(shè)計壓力進行真空度試驗。試驗宜在氣溫變化較小的環(huán)境下進行，試驗時間為24h，增壓率不應大于3％。
對于普通的真空管道系統(tǒng)，真空試驗增壓合格率在5％，因為對潔凈室要求比普通真空管道高，因此定為3％。
